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发明名称
PROVE DEVICE AND METHOD FOR POLISHING PROVE NEEDLE
摘要
申请公布号
JPH10209232(A)
申请公布日期
1998.08.07
申请号
JP19970023133
申请日期
1997.01.22
申请人
TOKYO ELECTRON LTD
发明人
TAKEKOSHI KIYOSHI
分类号
B23Q3/155;G01R3/00;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66
主分类号
B23Q3/155
代理机构
代理人
主权项
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