| 发明名称 |
CLEANING SYSTEM FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT AND ITS CONTROL METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10209137(A) |
申请公布日期 |
1998.08.07 |
| 申请号 |
JP19970009822 |
申请日期 |
1997.01.22 |
| 申请人 |
KOKUSAI ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
YUYA KOJI;MAKITANI MASAHIRO;TAKEDA TOMOHIKO |
| 分类号 |
C23C16/44;H01L21/02;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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