| 发明名称 |
SEPARATING METHOD FOR COMBINING TRENCH WITH SELECTIVE OXIDATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10209269(A) |
申请公布日期 |
1998.08.07 |
| 申请号 |
JP19980031944 |
申请日期 |
1998.01.06 |
| 申请人 |
TEXAS INSTR INC <TI> |
发明人 |
YONEOKA YOSHINOBU;FUKUHARA HIDEYUKI |
| 分类号 |
H01L21/316;H01L21/76;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/76 |
主分类号 |
H01L21/316 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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