发明名称 LOW-DIELECTRIC CONST. MATERIAL, LAYER INSULATION FILM AND IC BOARD
摘要
申请公布号 JPH10209142(A) 申请公布日期 1998.08.07
申请号 JP19970008705 申请日期 1997.01.21
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 YAMADA NORIKO;KATAYAMA SHINGO;MATSUZAKI YOICHI;NOGAMI ATSUSHI;YOSHINAGA IKUKO
分类号 H01L21/768;H01B3/46;H01L21/312;(IPC1-7):H01L21/312 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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