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发明名称 MANUFACTURING METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10209077(A) 申请公布日期 1998.08.07
申请号 JP19970010389 申请日期 1997.01.23
申请人 NEC CORP 发明人 URABE KOJI
分类号 H01L21/28;H01L21/285;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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