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发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING PROBE AND PROBE
摘要
申请公布号 JPH10206435(A) 申请公布日期 1998.08.07
申请号 JP19970017823 申请日期 1997.01.16
申请人 CANON INC 发明人 KAWASAKI TAKEHIKO
分类号 G01B7/34;G01B7/00;G01B21/30;G01N37/00;G01Q60/04;G01Q60/16;G01Q60/38;G01Q70/16;G01Q80/00;G11B9/00;G11B9/14;H01L21/66;(IPC1-7):G01N37/00 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
主权项
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