| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR FAULT ANALYSIS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH10209230(A) |
申请公布日期 |
1998.08.07 |
| 申请号 |
JP19970009967 |
申请日期 |
1997.01.23 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
ONO MAKOTO;ARIGA MAKOTO;SAKATA MASAO;TSUNEKAWA KAYO |
| 分类号 |
G01N21/88;G06F17/30;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01N21/88 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
