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发明名称 CLEANING TANK
摘要
申请公布号 JPH10209107(A) 申请公布日期 1998.08.07
申请号 JP19970012380 申请日期 1997.01.27
申请人 SONY CORP 发明人 UEZONO KOUJI
分类号 B08B3/04;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B08B3/04
代理机构 代理人
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