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发明名称 MANUFACTURE OF COMPLEMENTARY MOS SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH10209294(A) 申请公布日期 1998.08.07
申请号 JP19970011087 申请日期 1997.01.24
申请人 NEC CORP 发明人 ITO HIROSHI
分类号 H01L27/092;H01L21/28;H01L21/8238;H01L29/49;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L27/092
代理机构 代理人
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