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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号
JPH10209173(A)
申请公布日期
1998.08.07
申请号
JP19970011310
申请日期
1997.01.24
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
KINOSHITA YASUSHI
分类号
H01L21/28;H01L21/331;H01L21/8249;H01L27/06;H01L29/417;H01L29/73;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/331;H01L21/824
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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