| 发明名称 |
DISPOSITIF COMPRENANT DEUX SUBSTRATS DESTINES A FORMER UN MICROSYSTEME OU UNE PARTIE D'UN MICROSYSTEME ET PROCEDE D'ASSEMBLAGE DE DEUX SUBSTRATS MICRO-USINES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2748156(B1) |
申请公布日期 |
1998.08.07 |
| 申请号 |
FR19960005319 |
申请日期 |
1996.04.26 |
| 申请人 |
CSEM CENTRE SUISSE D'ELECTRONIQUE ET DE MICROTECHNIQUE SA |
发明人 |
CARDOT FRANCIS |
| 分类号 |
G01N27/333;G01N27/403;H05K3/30;H05K3/34;(IPC1-7):H01L23/10;H01L21/50 |
主分类号 |
G01N27/333 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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