发明名称 CLEANING APPARATUS AND METHOD
摘要
申请公布号 JPH10209094(A) 申请公布日期 1998.08.07
申请号 JP19970332291 申请日期 1997.11.18
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 TANAKA HIDEYA;MIYAMOTO KENICHI;KUBOTA MINORU;WALTER SWANSON
分类号 B08B1/04;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B08B1/04
代理机构 代理人
主权项
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