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发明名称 Nachgiebiger Waferprüferkopplungsadapter
摘要
申请公布号 DE19752229(A1) 申请公布日期 1998.08.06
申请号 DE19971052229 申请日期 1997.11.25
申请人 HEWLETT-PACKARD CO., PALO ALTO, CALIF., US 发明人 BOTKA, JULIUS K., SANTA ROSA, CALIF., US;VETERAN, DAVID R., SANTA ROSA, CALIF., US
分类号 G01R1/06;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/28;G01R31/26 主分类号 G01R1/06
代理机构 代理人
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