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发明名称
摘要
申请公布号 JP2784784(B2) 申请公布日期 1998.08.06
申请号 JP19890030972 申请日期 1989.02.13
申请人 KYANON KK 发明人 SHIRAI SHIGERU;TAKEI TETSUYA
分类号 C23C16/24;C23C16/50;C23C16/511;G03G5/08;H01L21/205;H01L31/0248;(IPC1-7):C23C16/50;H01L31/024 主分类号 C23C16/24
代理机构 代理人
主权项
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