Belichtungsvorrichtung für dem peripherischen Teil eines Trägers,申请号DE19916029249T-传众专利搜索

发明名称	Belichtungsvorrichtung für dem peripherischen Teil eines Trägers
摘要
申请公布号	DE69129249(T2)	申请公布日期	1998.08.06
申请号	DE19916029249T	申请日期	1991.06.14
申请人	NIKON CORP., TOKIO/TOKYO, JP	发明人	HATTORI, KEN, TOKYO, JP;AMANO, KESAYOSHI, TOKYO, JP;NAKAJIMA, MASAO, KAWASAKI-SHI, KANAGAWA-KEN, JP;NAITO, MASAYOSHI, SENDAI-SHI, MIYAGI-KEN, JP
分类号	G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/20	主分类号	G03F7/20
代理机构		代理人
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