반도체소자 제조를 위한 스퍼터링 공정용 타겟의 아킹성 불순물 부착구조

摘要

본 고안은 반도체소자 제조를 위한 스퍼터링 공정시, 금속 타겟 모서리에서 발생하는 아킹성 불순물이 반응챔버를 오염시키는 현상을 효과적으로 방지할 수 있도록 한 것이다. 이를 위해, 본 고안은 스퍼터링 공정용 타겟(1)의 플랜지면(2)에 스퍼터링 공정중 발생한 아킹시 생성되는 불순물이 부착되는 불순물 부착판(3)이 장착되는 반도체소자 제조를 위한 스퍼터링 공정용 타겟의 아킹성 불순물 부착구조이다.