| 摘要 |
웨이퍼로의 이온주입이 수행되는 패러데이 어셈블리의 중성화환경을 위하여 각 부분으로 인가되는 전압을 수시로 간단히 확인할 수 있도록 개선시킨 이온주입설비의 패러데이 전압 모니터링 장치에 관한 것이다. 본 고안은, 웨이퍼로의 이온주입이 이루어지는 패러데이 어셈블리 내의 이차전자 중성화를 위하여 상기 패러데이 어셈블리의 각 부분으로 서로 다른 전압을 인가하는 바이어스부의 인가전압을 모니터링하는 이온주입설비의 패러데이 전압 모니터링 장치에 있어서, 그라운드단자가 접지되고 전압인가단자로 인가되는 전압을 디지털 디스플레이하는 디지털 전압 계측기 및 상기 바이어스부의 각 바이어스전압 인가단 중 어느 하나를 상기 계측기의 전압인가단자와 접속시키는 스위칭수단을 구비하여 이루어진다. 따라서, 본 고안에 의하면 패러데이컵으로 중성화를 위하여 인가되는 정확한 전압을 항상 손쉽게 체크할 수 있으므로 패러데이 전압을 정상적으로 공급하기 위한 관리 및 배터리의 수명관리가 효율적으로 수행되는 효과가 있다. |
