| 摘要 |
본 고안은 웨이퍼 식각장치의 하부전극에 관한 것으로서, 좀더 구체적으로는 식각중 발생되는 웨이퍼의 부산물인 폴리머(Polymer) 등의 이물이 웨이퍼가 안착되는 하부전극의 상부면에 부착되지 않도록 한 것이다. 이를 위해, 가스가 유입되는 챔버(1)와, 상기 챔버내의 하부에 포커스링(6)으로 감싸여져 웨이퍼(2)를 지지하는 하부전극(4)과, 상기 챔버(1)내의 상부에 부착된 상부전극(7)으로 구성된 것에 있어서, 상기 하부전극(4)의 안착면중 웨이퍼(2)의 안착면(4)을 제외한 나머지 면을 상기 웨이퍼(2)의 안착면보다 낮게 형성하여서 된 것이다. |
