Photoenhanced diffusion patterning for organic polymer films,申请号EP19930106292-传众专利搜索

发明名称	Photoenhanced diffusion patterning for organic polymer films
摘要
申请公布号	EP0568853(B1)	申请公布日期	1998.08.05
申请号	EP19930106292	申请日期	1993.04.19
申请人	E.I. DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY	发明人	NEBE, WILLIAM JOHN;HOLZAPFEL, JOHN KIRK
分类号	G03F7/26;G03F1/00;G03F7/004;H01L21/027;H01L21/22;H01L21/30;H05K1/03;H05K1/09;H05K1/16;H05K3/02;H05K3/10;H05K3/46;(IPC1-7):G03F1/00;G03F7/095	主分类号	G03F7/26
代理机构		代理人
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