| 摘要 |
본 고안은 에칭챔버의 하부몸체내 수분 제거장치에 관한 것으로서, 좀더 구체적으로논 하부 챔버내에서 온도차이로 인해 발생되는 수분을 효율적으로 제거하여 챔버내의 부품이 손상되지 않도록 한 것이다. 이를 위해, 질소가스를 공급하는 질소가스 공급기(18)와, 일단이 질소가스 공급기와 연결되고 다른 일단이 하부 몸체(4)에 연결되어 상기 질소가스 공급기(18)에서 공급된 질소가스를 하부 몸체(4) 내부로 유입시켜 주는 질소가스 유입관(19)과, 상기 하부 몸체(4)에 연결되어 질소가스 유입관(19)을 통해 하부 몸체(4) 내부로 유입된 질소가스를 배출시켜 주는 질소가스 배기관(20)으로 구성된 것이다. |
