| 摘要 |
<p>본 고안은 식각 종료지점 검출장치에 관한 것으로, 종래에는 모노크로미터에 대한 파장의 설정을 일일이 수동적인 방식으로 계속 바꾸어 주어야 하는 불편함이 있었다. 이에 본 고안은 식각 종료지점 검출장치에 있어서, 모노크로미터를 입력 파장이 입사되는 입력슬릿과, 상기 입력슬릿을 통해 입사되는 파장을 반사시키는 미러와, 검출 파장을 미리 설정하는 마이크로미터와, 상기 마이크로미터를 통과한 파장을 순차적으로 상기 광전증폭관 튜브에 전달하는 미러와, 상기 마이크로미터에 설정된 값에 의해 미러의 각도를 조정하는 그레이팅/사인바(grating and sine bar)와, 상기 마이크로미터에서의 파장설정을 자동으로 행하기 위한 스테핑 모터와, 상기 스테핑 모터를 구동하는 모터 컨트롤러와, 상기 모터 컨트롤러의 제어신호를 발생시키는 씨피유로 구성하는데, 이러한 본 발명은 각 공정에 맞은 식각 종료지점의 파장을 설정 프로그램에 미리 설정하여 자동으로 설정파장을 조정함으로써 서로 다른 파장을 검출시 일일이 수동으로 마이크로미터의 설정파장을 조정하는 불편 및 수동으로 인한 실수 등을 해소할 수 있는 효과가 있다.</p> |
