반도체 제조장비의 노광장치

摘要

본 고안은 전자빔이 웨이퍼 상에 오토스캔되고, 또한, 패컨의 이미지를 녹화기능이 구비된 반도체 제조장비의 노광장치에 관한 것으로, 웨이퍼가 안착되어, X, Y, Θ 방향으로의 구동력을 발생시키는 각각의 구동원으로 스텝핑모터를 사용하고, 또한 패턴의 이미지가 확인되는 모니터에 영상처리장치를 연결함으로써 오토스캔하여 패턴을 모니터할 수 있다.