| 摘要 |
<p>본 고안은 고전류 이온 주입기(High Current Ion Implanter)의 오류 검출장치에 관한 것으로 특히, 가동율 및 생산성을 향상시키도록 한 고전류 이온 주입기의 오류 검출장치에 관한 것이다. 이와 같은 본 고안의 고전류 이온 주입기의 오류 검출장치는 복수개의 시스템에서 에러신호를 출력하는 마이컴; 상기 마이컴의 에러신호를 검출하는 에러신호 검출부; 상기 에러신호 검출부의 출력신호에 따라 교류전원을 공급하는 스위칭부; 상기 스위칭부에서 공급되는 교류전원을 일정전압의 직류전원으로 변환하는 직류 전원부; 그리고 상기 직류 전원부의 직류전원에 의해 작업자에게 시스템 오류상태를 알리는 경광등을 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.</p> |
