| 摘要 |
본 고안은 웨어퍼안착부와, 웨어퍼안착부에 안착된 반도체웨이퍼의 위치를 감지하는 위치감지부와, 웨어퍼안착부에 안착된 반도체웨이퍼를 회전 및 수평 이동시키는 웨이퍼이동수단과, 위치감지부의 신호를 받아 웨이퍼이동수단을 제어하는 이동수단제어부를 구비하여 웨이퍼를 정렬시키는 반도체웨이퍼 정렬장치로써, 반도체웨이퍼 뒷면으로 빛을 조사하는 조사부와, 웨이퍼 뒷면으로부터 난반사된 빛을 수신하는 집광부와, 집광부에 연결되어 정렬장치의 동작 진행 여부를 결정하는 계산부와, 계산부의 출력을 표시하는 표시부가 추가 설치된 정렬장치에 관한 것이다. |
