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发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND APPARATUS FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10204614(A) 申请公布日期 1998.08.04
申请号 JP19970003763 申请日期 1997.01.13
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 IGUCHI TOMOYUKI
分类号 C23C14/00;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/00 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
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