| 发明名称 |
METALLIC PLASMA GENERATING DEVICE AND SPUTTERING FILM FORMING DEVICE USING IT AND METALLIC ION SOURCE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH10204631(A) |
申请公布日期 |
1998.08.04 |
| 申请号 |
JP19970009917 |
申请日期 |
1997.01.23 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
MIYAKE KIYOSHI;OHASHI TAKEYA |
| 分类号 |
H05H1/46;C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
H05H1/46 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
