发明名称 |
METHOD FOR REGULATING SPECIFIC RESISTANCE OF ULTRAPURE WATER |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH10202242(A) |
申请公布日期 |
1998.08.04 |
申请号 |
JP19970010682 |
申请日期 |
1997.01.23 |
申请人 |
NGK INSULATORS LTD;N G K FUIRUTETSUKU KK |
发明人 |
IWABUCHI MUNEYUKI;HISANAMI SHINJI |
分类号 |
C02F1/00;B01F1/00;C01B5/00;C02F1/66;G05F1/00;H01L21/304;(IPC1-7):C02F1/00 |
主分类号 |
C02F1/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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