| 发明名称 |
MAGNETRON CATHODE AND METAL WIRING SPUTTERING APPARATUS HAVING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10204634(A) |
申请公布日期 |
1998.08.04 |
| 申请号 |
JP19970007811 |
申请日期 |
1997.01.20 |
| 申请人 |
ULVAC JAPAN LTD |
发明人 |
MATSUURA MASAMICHI;YAMAMOTO NAOSHI;MORITA TADASHI |
| 分类号 |
C23C14/35;(IPC1-7):C23C14/35 |
主分类号 |
C23C14/35 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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