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发明名称 LOWER ELECTRODE
摘要
申请公布号 JPH10204645(A) 申请公布日期 1998.08.04
申请号 JP19970017738 申请日期 1997.01.17
申请人 HITACHI ELECTRON ENG CO LTD 发明人 SUZUKI SHINICHI;MORI JUNICHI;NAGASAKI KEIICHI
分类号 H05H1/46;C23C16/50;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/50 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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