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发明名称 EVACUATION TREATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10204642(A) 申请公布日期 1998.08.04
申请号 JP19970011079 申请日期 1997.01.24
申请人 NEC YAMAGUCHI LTD 发明人 KAWASAKI YASUO
分类号 C23C16/44;C23C16/455;C23C16/52;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23C16/44;H01L21/306 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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