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发明名称 ION BEAM GENERATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10204635(A) 申请公布日期 1998.08.04
申请号 JP19970004746 申请日期 1997.01.14
申请人 KOBE STEEL LTD 发明人 AKARI KOUICHIROU
分类号 C23C14/46;C23C14/48;(IPC1-7):C23C14/46 主分类号 C23C14/46
代理机构 代理人
主权项
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