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发明名称 MANUFACTURING METHOD FOR CAPACITOR OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR0147655(B1) 申请公布日期 1998.08.01
申请号 KR19950020635 申请日期 1995.07.13
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO.,LTD 发明人 LEE, MYUNG-BUM;LEE, HYUN-DUK
分类号 H01L27/04;H01L21/02;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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