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发明名称 METHOD FOR REMOVING POLY-SI STRINGER
摘要
申请公布号 KR0147711(B1) 申请公布日期 1998.08.01
申请号 KR19950019165 申请日期 1995.06.30
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD 发明人 OH, JIN-SUNG;PARK, CHAN-DONG
分类号 H01L27/112;(IPC1-7):H01L27/112 主分类号 H01L27/112
代理机构 代理人
主权项
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