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发明名称 CERAMIC CLAMP OF ETCHING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR0119745(Y1) 申请公布日期 1998.08.01
申请号 KR19940029177U 申请日期 1994.11.03
申请人 LG SEMICONDUCTOR CO.,LTD 发明人 PARK, CHI-KYUN
分类号 H01L21/302;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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