发明名称 IPA VAPOR DRYER OF WAFER
摘要
申请公布号 KR0119733(Y1) 申请公布日期 1998.08.01
申请号 KR19940015756U 申请日期 1994.06.29
申请人 LG SEMICONDUCTOR CO.,LTD 发明人 KWAK, MYUNG-SOO;YEUM, YONG-JOO
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利