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经营范围
发明名称
WAFER RETURN SYSTEM
摘要
申请公布号
KR0119137(Y1)
申请公布日期
1998.08.01
申请号
KR19940033470U
申请日期
1994.12.09
申请人
HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD
发明人
KIM, YONG-PYO;YU, HAE-SAN;AHN, JAE-MYUNG;JI, JAE-POONG;PARK, WOON-YONG
分类号
H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
主权项
地址
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