QUARTZ HEATER SYSTEM OF WET STATION,申请号KR19940036290U-传众专利搜索

发明名称	QUARTZ HEATER SYSTEM OF WET STATION
摘要
申请公布号	KR0118593(Y1)	申请公布日期	1998.08.01
申请号	KR19940036290U	申请日期	1994.12.27
申请人	LG SEMICONDUCTOR CO.,LTD	发明人	CHON, WON-SUB
分类号	H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304	主分类号	H01L21/304
代理机构		代理人
主权项
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