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发明名称 GAS COMPOSITION FOR DRY ETCHING AND DRY ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH10199865(A) 申请公布日期 1998.07.31
申请号 JP19970312907 申请日期 1997.10.30
申请人 AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL;KIKAI SYST SHINKO KYOKAI;NIPPON DENSHI KIKAI KOGYOKAI;NIPPON ZEON CO LTD 发明人 SEKIYA AKIRA;YAMADA TOSHIRO;GOTO KUNIAKI;TAKAGAKI TETSUYA
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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