| 发明名称 |
PLASMA-ETCHING METHOD AND PLASMA DISCHARGE ANALYZING SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10199867(A) |
申请公布日期 |
1998.07.31 |
| 申请号 |
JP19970370142 |
申请日期 |
1997.12.22 |
| 申请人 |
TEXAS INSTR INC <TI> |
发明人 |
DAVID WALLACE BACK;GABRIELE G BARNER |
| 分类号 |
H05H1/00;C23F4/00;G01J3/30;G01J3/443;G01L21/30;G01N21/68;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
H05H1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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