| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR ANALYZING YIELD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10199953(A) |
申请公布日期 |
1998.07.31 |
| 申请号 |
JP19970004890 |
申请日期 |
1997.01.14 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
KAMATA TADASHI;FUJII MITSUO |
| 分类号 |
G01R31/28;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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