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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD OF FORMING ELEMENT SEPARATING TRENCHES FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10199968(A) 申请公布日期 1998.07.31
申请号 JP19970003216 申请日期 1997.01.10
申请人 SONY CORP 发明人 YAMAMURA YASUHIRO
分类号 H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
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