发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10199878(A) 申请公布日期 1998.07.31
申请号 JP19970005142 申请日期 1997.01.16
申请人 SONY CORP 发明人 KATAOKA TOYOTAKA
分类号 H01L29/78;H01L21/318;(IPC1-7):H01L21/318 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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