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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10200102(A) 申请公布日期 1998.07.31
申请号 JP19970001781 申请日期 1997.01.09
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 SUMIDA HITOSHI
分类号 H01L21/762;H01L21/8222;H01L21/8234;H01L27/04;H01L27/06;H01L27/12;H01L29/739;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/822 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
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