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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH10199894(A) 申请公布日期 1998.07.31
申请号 JP19970225946 申请日期 1997.08.22
申请人 TOYOTA MOTOR CORP 发明人 KUSHIDA TOMOYOSHI
分类号 H01L21/322;H01L21/336;H01L29/32;H01L29/739;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/336 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
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