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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10199896(A) 申请公布日期 1998.07.31
申请号 JP19970000972 申请日期 1997.01.07
申请人 FUJITSU LTD 发明人 HIRANO HIDENORI
分类号 H01L29/73;H01L21/285;H01L21/308;H01L21/331;H01L21/335;H01L21/338;H01L29/205;H01L29/423;H01L29/737;H01L29/778;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/338 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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