发明名称 MANUFACTURE OF FLASH MEMORY CELLS
摘要
申请公布号 JPH10200002(A) 申请公布日期 1998.07.31
申请号 JP19970347674 申请日期 1997.12.17
申请人 LG SEMICON CO LTD 发明人 YON-KEEUN PARK
分类号 H01L21/8247;H01L21/02;H01L21/336;H01L21/82;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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