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发明名称
MICROSCOPE AUTOFOCUS
摘要
申请公布号
FR2725532(B1)
申请公布日期
1998.07.31
申请号
FR19950011859
申请日期
1995.10.09
申请人
NOVA MEASURING INSTRUMENTS LTD
发明人
FINAROV MOSHE
分类号
G03B13/36;G02B7/28;G02B21/00;G02B21/24;(IPC1-7):G02B27/40
主分类号
G03B13/36
代理机构
代理人
主权项
地址
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