发明名称 MICROSCOPE AUTOFOCUS
摘要
申请公布号 FR2725532(B1) 申请公布日期 1998.07.31
申请号 FR19950011859 申请日期 1995.10.09
申请人 NOVA MEASURING INSTRUMENTS LTD 发明人 FINAROV MOSHE
分类号 G03B13/36;G02B7/28;G02B21/00;G02B21/24;(IPC1-7):G02B27/40 主分类号 G03B13/36
代理机构 代理人
主权项
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