发明名称 SEMICONDUCTOR TESTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10197595(A) 申请公布日期 1998.07.31
申请号 JP19970001449 申请日期 1997.01.08
申请人 ADVANTEST CORP 发明人 SAITO TAKASHI
分类号 G01R31/26;G01R1/28;G01R31/28;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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