发明名称 SIMULATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND SIMULATION EQUIPMENT FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10200107(A) 申请公布日期 1998.07.31
申请号 JP19970005141 申请日期 1997.01.16
申请人 SONY CORP 发明人 OTANI HIDEKI
分类号 H01L29/00;H01L21/00;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L29/00
代理机构 代理人
主权项
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