发明名称 PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION AND ITS USE
摘要
申请公布号 JPH10198032(A) 申请公布日期 1998.07.31
申请号 JP19970013359 申请日期 1997.01.08
申请人 NIPPON SYNTHETIC CHEM IND CO LTD:THE 发明人 SUGITA HIROSUKE;IZUMI TSUKASA;NAKAJIMA HIROYUKI
分类号 G03F7/004;G03F7/027;G03F7/028;G03F7/033;G03F7/075;H01J9/02;(IPC1-7):G03F7/027 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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