发明名称 |
PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION AND ITS USE |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH10198032(A) |
申请公布日期 |
1998.07.31 |
申请号 |
JP19970013359 |
申请日期 |
1997.01.08 |
申请人 |
NIPPON SYNTHETIC CHEM IND CO LTD:THE |
发明人 |
SUGITA HIROSUKE;IZUMI TSUKASA;NAKAJIMA HIROYUKI |
分类号 |
G03F7/004;G03F7/027;G03F7/028;G03F7/033;G03F7/075;H01J9/02;(IPC1-7):G03F7/027 |
主分类号 |
G03F7/004 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|